- 分辨率：≤1.0nm@15KV，≤1.8 nm@1kV
- 放大倍率：10-1,000,000倍
- 电子枪：肖特基热场发射电子枪，非钨灯丝
- 加速电子：0.02kV ～ 30 kV
- 可测样品：≥200mm
开放共享
SEM&EDS
重要参数
应用
-
显微观察：主要用于产品器件三维形貌的观察（检测器件、单板的焊接，腐蚀，镀层工艺；材料微观放大成像、微观区域晶体结构分析等；金属非金属断口分析；尺寸量测；锡虚观察）
- 成分分析（表面异物分析；镀层成分分析）
