-
X-Y 方向扫描范围：最小 200 * 200um; 最大≥ 320 ×320 mm；
- 重复精度± 0.1μm ；
-
探头配置：30Hz/50MHz/110MHz/125MHz/230MHz；
开放共享
超声扫描显微镜
重要参数
应用
- 无损分析塑料封装IC、晶片、电子元器件、PCB等样品;
-
材料内部的晶格结构，杂质颗粒;
-
内部裂纹;
-
分层缺陷;
-
空洞、气泡、空隙等等。
